特許
J-GLOBAL ID:200903069076440293
窒化アルミニウム質焼結体
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-361451
公開番号(公開出願番号):特開2000-178072
出願日: 1998年12月18日
公開日(公表日): 2000年06月27日
要約:
【要約】【課題】高熱伝導性を有しながらも、1700°C以下の温度で焼結可能であり、強度に優れた窒化アルミニウム質焼結体とその製造方法を提供する。【解決手段】窒化アルミニウムを主成分とし、少なくとも希土類元素酸化物(RE2 O3 )とアルカリ土類金属酸化物(RO)を、RO/RE2 O3 の比率が0.2〜0.5を満足する割合で合計0.5〜20重量%含み、シリカ(SiO2)およびアルミナ(Al2 O3 )を合計で0.1〜5.0重量%の割合でそれぞれ含む焼結体であって、窒化アルミニウム粒子の粒界相が、YAG型結晶相と、アルカリ土類金属酸化物-アルミナ系結晶相を含み、前記YAG型結晶相における(2,1,1)面ピーク強度をY、前記アルカリ土類金属酸化物-アルミナ系結晶相のうちアルカリ土類金属酸化物:アルミナのモル比が1:1であるものにおける(2,2,0)面ピーク強度をRAとした時、Y/RAで表されるピーク強度比が3〜15となるように制御して、3点曲げ強度が530MPa以上の焼結体を得る。
請求項(抜粋):
窒化アルミニウムを主成分とし、少なくとも希土類元素酸化物(RE2 O3 )とアルカリ土類金属酸化物(RO)を、RO/RE2 O3 の比率が0.2〜0.5を満足する割合で合計0.5〜20重量%含み、シリカ(SiO2 )およびアルミナ(Al2 O3 )を合計で0.1〜5.0重量%の割合でそれぞれ含む焼結体であって、窒化アルミニウム粒子の粒界相が、YAG型結晶相と、アルカリ土類金属酸化物-アルミナ系結晶相を含み、前記YAG型結晶相における(2,1,1)面ピーク強度をY、前記アルカリ土類金属酸化物-アルミナ系結晶相のうちアルカリ土類金属酸化物:アルミナのモル比が1:1であるものにおける(2,2,0)面ピーク強度をRAとした時、Y/RAで表されるピーク強度比が3〜15であり、3点曲げ強度が530MPa以上であることを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体。
Fターム (27件):
4G001BA03
, 4G001BA04
, 4G001BA05
, 4G001BA06
, 4G001BA07
, 4G001BA08
, 4G001BA09
, 4G001BA36
, 4G001BA71
, 4G001BA73
, 4G001BB03
, 4G001BB04
, 4G001BB05
, 4G001BB06
, 4G001BB07
, 4G001BB08
, 4G001BB09
, 4G001BB36
, 4G001BC13
, 4G001BC53
, 4G001BC54
, 4G001BC57
, 4G001BD03
, 4G001BD14
, 4G001BD23
, 4G001BE01
, 4G001BE26
引用特許:
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