走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-398286
公開番号（公開出願番号）：特開2003-194693
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】レバースキャンタイプでありながら、走査をより高速でより安定に行なえる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡100はカンチレバー110を走査する走査機構120を有している。走査機構120はz走査用駆動部130とx走査用駆動部150とy走査用駆動部170とを有している。z走査用駆動部130は一軸に沿って変位し得る一対のz走査用アクチュエーター132と134を有している。これらは第一の支持部材136に支持され、第一の支持部材136を間に挟んで面対照に配置されている。z走査用駆動部130は更にカンチレバーホルダー142を有し、これは下側のz走査用アクチュエーター132の自由端に固定されている。z走査用駆動部130は更に上側のz走査用アクチュエーター134の自由端に固定された錘144を有している。

請求項（抜粋）：

レバースキャンタイプの走査型プローブ顕微鏡であり、探針を自由端に備えるカンチレバーと、カンチレバーを走査するための走査機構と、走査機構を支持する支持機構と、カンチレバーの変位を検出するための変位検出光学系とを有しており、走査機構は、カンチレバーを第一の軸に沿って移動させるための第一の駆動部と、カンチレバーを第一の駆動部と共に第一の軸とは異なる第二の軸に沿って移動させるための第二の駆動部と、カンチレバーを第二の駆動部と共に第一の軸と第二の軸とは異なる第三の軸に沿って移動させるための第三の駆動部とを有しており、第一の駆動部は、一軸に沿って変位し得る一対の第一のアクチュエーターと、これらを支持する第一の支持部材とを有し、一対の第一のアクチュエーターは第一の支持部材を間に挟んで面対照に配置されており、第一の駆動部は更に、カンチレバーを保持するためのカンチレバーホルダーを有し、カンチレバーホルダーは一方の第一のアクチュエーターの自由端に固定されており、第一の駆動部は更に、他方の第一のアクチュエーターの自由端に固定された錘を有し、錘の重さはカンチレバーホルダーの重さとほぼ同じである、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/10 , G01B 21/30 101 , G12B 21/20

FI (3件)：

G01N 13/10 C , G01B 21/30 101 Z , G12B 1/00 601 G

Fターム (10件)：

2F069AA60 , 2F069BB40 , 2F069DD15 , 2F069GG06 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069JJ15 , 2F069MM24 , 2F069MM32 , 2F069MM34

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