特許

J-GLOBAL ID：200903069080705471

多段真空ポンプの冷却装置

発明者： 渡辺 泰弘 ,  小神野 宏明 ,  村上 生吾 ,  臼井 克明
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-254688
公開番号（公開出願番号）：特開平5-118290
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 ポンプケーシング下部に別部品として冷却器を取付け、インタークーラを不要とすることによって、真空ポンプをコンパクトにし、またケーシング本体を冷却しないことにより、昇華性または凝縮性のガスの排気に適した多段真空ポンプの冷却装置を提供する。【構成】 排気するガスの圧縮工程で発生した圧縮熱を除去するための多段真空ポンプの冷却装置において、ポンプケーシング1の下部に冷却水を通水する冷却器16を設け、この冷却器16によってポンプケーシング1の下部にある壁体15を通して前記排気するガスを冷却するようにした。

請求項（抜粋）：

排気するガスの圧縮工程で発生した圧縮熱を除去するための多段真空ポンプの冷却装置において、ポンプケーシングの下部に冷却水を通水する冷却器を設け、この冷却器によって、ポンプケーシングの下部に設けられた壁体を通して前記排気するガスを冷却するようにしたことを特徴とする多段真空ポンプの冷却装置。

IPC (4件)：

F04C 25/02 ,  F04C 18/18 ,  F04C 23/00 ,  F04C 29/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-070990
  
• 特開平4-019385
  
• 特開平2-095792