特許
J-GLOBAL ID：200903069086692711
蒸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-200097
公開番号（公開出願番号）：特開平6-002110
出願日： 1992年06月17日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 蒸着装置において、基材に対して全表面に均一な蒸着処理ができ、基材の処理槽内への挿入セットが簡単に容易に行なえるようにすることを目的とする。【構成】 気密処理槽1内において、被覆材電極5の電源7による放電によって金属蒸気を発生させ、この発生蒸気とボンベ4から供給する反応性ガスとによって化学反応を起こさせ、反応合成物をホルダ8に取付られたバイアス電源11を接続した基材9に蒸着するものに於て、前記気密処理槽1の一個所に開閉する蓋2を設け、この蓋に基材9の取付けホルダ8を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
気密処理槽中において、被覆材電極の放電により発生する金属蒸気と供給反応性ガスとによって化学反応を起こさせると共に反応物を基材に蒸着させる蒸着装置に於て、前記気密処理槽の一個所に開閉する蓋を設け、該蓋に前記基材を取付けるホルダを設けたことを特徴とする蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/22
, C23C 14/50
, C23C 16/44
