特許

J-GLOBAL ID：200903069095964864

形状測定装置

発明者： 鈴木 正則
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-187482
公開番号（公開出願番号）：特開平10-030916
出願日： 1996年07月17日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】測定光学系に含まれる集光レンズの収差に影響されず、被検面の形状を高精度に測定する。【解決手段】本形状測定装置は、フィゾーレンズ102の参照面Aで反射したレーザ光と被検面Bで反射したレーザ光との干渉による干渉縞を発生させるフィゾー型干渉計100と、フィゾー型干渉計100が発生させた干渉縞の位相解析を行う情報処理装置101とを備える。情報処理装置101は、縞走査法で得られた被検面Bの凹凸情報と、縞走査法で得られた球面ゲージの凹凸情報とに対して、それぞれ、フィゾーレンズ102の収差に起因する測定誤差の補正処理を施す。そして、補正後の被検面Bの凹凸情報と、補正後の球面ゲージの凹凸情報との差分を算出し、これを、最終的な被検面Bの形状データとして出力する。

請求項（抜粋）：

集光レンズの参照面で反射した光と前記集光レンズを透過して被検面で反射した光との干渉による干渉縞の状態から前記被検面の形状を測定する測定手段を備えた形状測定装置であって、前記集光レンズの参照面で反射した光と、当該光と同一の光源から照射されて所定の基準面で反射した光との干渉による干渉縞の像から、前記集光レンズの収差を算出する収差測定手段と、前記収差測定手段が測定した前記集光レンズの収差を用いて、前記測定手段が測定した前記参照面に対する被検面の形状偏差と、前記測定手段が測定した前記参照面に対する基準ゲージの形状偏差をそれぞれ補正する補正手段と、前記補正手段によって補正された前記参照面に対する被検面の形状偏差と前記参照面に対する基準ゲージの形状偏差との差分を算出する算出手段とを備えることを特徴とする形状測定装置。