特許

J-GLOBAL ID：200903069098249775

プラズマCVD用カセットホルダー

発明者： 二見 真吾
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-021328
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231710
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【課題】 プラズマCVD用カセットホルダーにおいて、セットしたキャリアが外部から受ける振動または衝撃によって浮き上がったりずれたりすることを防止する。【解決手段】 ウェーハのキャリアを保持するカセットホルダーであって、該カセットホルダーは水平位置から垂直位置に開閉するドア部に設けられ、保持されたキャリアが垂直位置になるときの上部を押さえるストッパー部材を設けたプラズマCVD用カセットホルダーである。上部を押さえるストッパー部材を設けたことにより外部からの振動または衝撃を受けてもセットしたキャリアが浮き上がったりずれたりすることがなく、常にキャリアを適正なセット位置に保持することができる。

請求項（抜粋）：

ウェーハのキャリアを保持するカセットホルダーであって、該カセットホルダーは水平位置から垂直位置に開閉するドア部に設けられ、保持されたキャリアが垂直位置になるときの上部を押さえるストッパー部材を設けたことを特徴とするプラズマCVD用カセットホルダー。

IPC (3件)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/31 C ,  H01L 21/31 F ,  C23C 16/44 F ,  H01L 21/68 A

Fターム (15件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030GA12 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA12 ,  5F031FA18 ,  5F031FA22 ,  5F031KA20 ,  5F031PA08 ,  5F031PA30 ,  5F045AA08 ,  5F045BB08 ,  5F045EN04 ,  5F045EN05