検査方法及びその装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-127075
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326232
出願日： 1998年05月11日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】ウェハの大口径化によるウェハーチャックの拡大により,重量が大幅に増加して,ウェハを走査するステージの可動部重量が増加するため,走査ステージの加速,減速時間の増大,位置決めステージの整定時間の増大となり,検査時間に大きく影響を及ぼす。また,焦点合わせ精度が劣化するといった問題点がある。本発明の目的は,かかる従来の問題点を解決し,ウェハチャックを軽量化することにより,可動部重量を最低限に抑え,最短時間で検査が可能なパターン検査装置及びその方法を提供することにある。【解決手段】上記問題を解決するため,本発明に係るパターン検査装置の構成は,ウェハを保持する手段と,ウェハ上のパターンを検出する手段と,検出した結果を判定する手段と,ウェハを検査方向に移動する手段と,ウェハを検査方向と直角方向に位置決めする手段と,ウェハを焦点方向に移動する手段とを具備したものである。

請求項（抜粋）：

被検査対象物を保持する保持手段と,該保持手段で保持された前記被検査対象物を平面内で第1の方向に移動させる第1の移動手段と,該保持手段で保持された前記被検査対象物を前記平面内で前記第1の方向と直角な方向に移動させる第2の移動手段と,前記被検査対象物の前記平面に対して垂直な方向の位置を検出する検出手段と,該検出手段で検出した前記被検査対象物の前記垂直な方向の位置に応じて前記被検査対象物の前記垂直な方向の位置を調整する位置調整手段と,前記保持手段に保持された被検査対象物を撮像して画像信号を得る撮像手段と,該撮像手段により得られた前記位置調整手段により前記垂直な方向の位置が調整されて前記第1の移動手段により前記第1の方向に速度むらが±3%以下の一定速度で移動中の前記被検査対象物の画像信号を基準となる画像信号と比較して前記被検査対象物の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えたことを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , H01L 21/66 , H01L 21/68

FI (5件)：

G01N 21/88 E , G01B 11/30 Z , H01L 21/66 J , H01L 21/68 A , H01L 21/68 K

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