特許

J-GLOBAL ID：200903069098668735

赤外光導波路

発明者： 坂 口 茂 樹
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247127
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043539
出願日： 1992年08月25日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】 基板上に形成される光導波路を、赤外領域で動作し、フッ化物光ファイバに接続できるようにし、しかも導波路ガラス材料を基板上に良好な品質で精度よく安定して作製できるようにする。【構成】 基板1の材料としてアルミナを用い、このアルミナ基板上に酸化ゲルマニウムを主成分とするガラスを形成して光導波路2を形成する。酸化ゲルマニウム微粒子をアルミナ基板1上に吹き付けて堆積し、加熱・冷却により透明化して膜状の平面光導波路を得る。さらに、この導波膜をリソグラフィとRIEによりパターン化し、パターン光導波路を得る。酸化ゲルマニウムガラスにより、フッ化物光ファイバに接続可能な長波長領域で光損失のない光導波路が得られる。アルミナと酸化ゲルマニウムは熱膨張係数が等しく、また強固に結合する。

請求項（抜粋）：

酸化ゲルマニウムを主成分とするガラスを、アルミナ基板上に形成して構成されていることを特徴とする赤外光導波路。