特許

J-GLOBAL ID：200903069099497144

ITO焼結体の製造方法

発明者： 佐々木 丈夫 ,  佐々木 博 ,  仙名 保
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-040864
公開番号（公開出願番号）：特開平7-247162
出願日： 1994年03月11日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 緻密で均一組成を有し、しかも内部歪のないITO焼結体を製造する。【構成】 In(NO3 )3 及びSnCl4 の水溶液を媒体攪拌型分散機内に収容し、媒体攪拌型分散機を作動状態でNH3 水を添加し、In(OH)3 及びSn(OH)4 を共沈させる。この粒子を回収して成形、焼成する。【効果】 媒体攪拌型分散機による均一混合系内においてIn(OH)3 及びSn(OH)4 が共沈して析出したものであるため、極めて均一で、In(OH)3 とSn(OH)4 との相互作用の強固な高密度粒子が析出する。メカノケミカル機構により、均一かつ高密度で表面活性に優れた易焼結性の複合粒子が得られることから、これを成形して常圧焼結することにより、内部歪がなく、著しく高密度かつ均一組成で、機械的強度及び電気的特性に優れたITO焼結体が提供される。

請求項（抜粋）：

インジウム塩及びスズ塩が溶解している液を媒体攪拌型分散機内に収容する工程と、該媒体攪拌型分散機を作動させた状態において、前記液中にアンモニア水を添加して、水酸化インジウムと水酸化スズとを共沈させる工程と、得られた析出物を回収して成形し、焼成する工程とを備えてなるITO焼結体の製造方法。

IPC (3件)：

C04B 35/457 ,  C04B 35/64 ,  C23C 14/34

FI (2件)：

C04B 35/00 R ,  C04B 35/64 A