位置検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-140679
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347215
出願日： 1993年06月11日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】【目的】位置を検出するために、配列された光電変換素子上にパターンを投影する手段を有する位置検出装置において、画素分解能以下で高精度な位置合わせ精度を可能にした位置検出装置を提供することである。【構成】位置を検出するために、配列された光電変換素子上に位置検出用マークからの光パターンを投影する手段を有する位置検出装置において、位置検出用マークの位置ずれ計測方向と該光電変換素子の配列方向の1方向とが平行でないあるいは直交しない角度に設定する。

請求項（抜粋）：

位置を検出するために、配列された光電変換素子上に位置検出用マークからの光パターンを投影する手段を有する位置検出装置において、位置検出用マークの位置ずれ計測方向と該光電変換素子の配列方向の1方向とが平行でないあるいは直交しない角度に設定することを特徴とする位置検出装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 , G05D 3/12 , H01L 21/027 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平4-076405
特開平4-076405
特開昭63-147280

全件表示

前のページに戻る