特許
J-GLOBAL ID：200903069107944619
白色光のヘテロダイン干渉法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院計量研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-080087
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281313
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 白色光のヘテロダイン干渉技術を提供する。【解決手段】光源の低コヒーレンス性を利用した白色干渉において、音響光学変調器を干渉計内に挿入し、当該音響光学変調器による白色光の回折地点と発散地点が一致するように、当該音響光学変調器に白色光を収斂させ、これらの光を放物面鏡で反射させることによって白色光の各波長の周波数を同じ量だけシフトさせ、ヘテロダイン干渉を実現し、微弱光を高感度で検出する。
請求項（抜粋）：
光源の低コヒーレンス性を利用した白色干渉において、音響光学変調器を干渉計内に挿入し、当該音響光学変調器による白色光の回折地点と発散地点とが一致するように、当該音響光学変調器に白色光を収斂させ、これらの回折光を凹面鏡で元の方向に反射させることによって、白色光の各波長の周波数を同じだけシフトさせ、ヘテロダイン干渉を実現し、拡がりのある光源を効率的に音響光学変調器に入射させるとともに、微弱光を高感度で検出することを特徴とする白色光のヘテロダイン干渉法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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