特許

J-GLOBAL ID：200903069108821316

有機薄膜の製造方法

発明者： 中村 直樹
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 宇井 正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-217594
公開番号（公開出願番号）：特開平7-068214
出願日： 1993年09月01日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：

【要約】【目的】 基板上に付着すべき有機薄膜の分子配列を維持しつつすでに基板上に付着した有機薄膜に亀裂が生じるのを阻止する。【構成】 両親媒性分子16を水面2a上に展開し、この分子16を水平方向に圧縮して固定バリア3と可動バリア4間の水面2a上に紫外線重合可能な分子層5を形成する。次いで、予め水2中に浸漬した基板7を分子層5に対しほぼ垂直に上昇させて分子層5を横断させる。基板7の上昇時基板7上に付着して基板7と共に上昇する分子層5に対し紫外線Lを照射する。紫外線Lが照射された分子層5はこの紫外線Lによって重合して硬化し、その結果基板7上には硬化した分子層5aからなる有機薄膜が形成される。

請求項（抜粋）：

液面上に展開した両親媒性の分子を水平方向に圧縮して分子層を形成し、予め液中に浸漬した基板を該分子層に対しほぼ垂直に上昇させて分子層を横断させることにより該基板上に上記分子層を付着させて該分子層からなる有機薄膜を基板上に形成するようにした有機薄膜の製造方法において、上記分子層を光重合可能な分子層から構成し、上記基板の上昇時基板上に付着した分子層に対し光照射して該分子層を光重合させるようにした有機薄膜の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-225604
  
• 特開平4-001656
  
• 特開昭62-027707