ワーク外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-083411
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272356
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】段取り替えすることなく効率的に検査結果に対する観察を行なう。【解決手段】ワーク2の画像を取得してワーク2の外観を高精度又は低精度などで自動検査するための第1及び第2の検査ヘッド26、27と、これら第1及び第2の検査ヘッド26、27を用いたワーク2の検査結果からワーク2における欠陥部分等の注目部分についてベリファイ観察を行なうための第3の検査ヘッド28とを備えた。

請求項（抜粋）：

複数のワークが形成された帯状体を送り制御しながら前記各ワークに対する検査を行うワーク外観検査装置において、前記ワークの画像を取得して前記ワークの外観を検査する検査手段と、この検査手段の検査結果から前記ワークにおける注目部分について目視観察を行なうための目視観察手段と、を具備したことを特徴とするワーク外観検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , H05K 3/00 , G01B 11/30

FI (3件)：

G01N 21/956 B , H05K 3/00 Q , G01B 11/30 A

Fターム (35件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065CC01 , 2F065DD06 , 2F065FF26 , 2F065FF66 , 2F065GG01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065MM02 , 2F065PP15 , 2F065PP24 , 2F065QQ51 , 2F065SS02 , 2F065SS04 , 2F065SS13 , 2F065TT01 , 2F065TT08 , 2G051AA61 , 2G051AA62 , 2G051AA65 , 2G051AB02 , 2G051AC02 , 2G051BA01 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CA11 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051DA15 , 2G051EA14 , 2G051FA10

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