特許

J-GLOBAL ID：200903069112972540

光センサー

発明者： 矢野 健作
出願人/特許権者： 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社
代理人 (8件)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-038543
公開番号（公開出願番号）：特開2004-247686
出願日： 2003年02月17日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】ポリシリコン膜により形成された光センサーにおいて、膜厚が約50nm程度でも可視光領域でバランス良く感度が得られるようにする。【解決手段】断面が台形状を有する略棒型に形成された凸部102を基板101の表面に所定間隔で複数配置し、その上層にポリシリコン膜107を形成する。ポリシリコン膜107の傾斜部107bは入力光に対して所定の角度で接するため、入力光はポリシリコン膜107内で多重反射を繰り返し、吸収係数の小さい長波長は徐々にポリシリコン膜107に吸収される。このため、長波長の感度が上がることから、波長の短い青の領域だけでなく、波長の長い領域を含めた可視光領域(400〜700nm)においてバランス良く感度をもたせることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

表面に凸部が形成された基板の上層に、入力光に対して所定の角度で接する傾斜部を有するポリシリコン膜が形成され、前記ポリシリコン膜は平面的にPIN型の電極構造を有することを特徴とする光センサー。

IPC (2件)：

H01L31/10 ,  G02F1/135

FI (2件)：

H01L31/10 H ,  G02F1/135

Fターム (18件)：

2H092KA04 ,  2H092LA01 ,  2H092NA25 ,  2H092RA10 ,  5F049MA04 ,  5F049MB05 ,  5F049NA10 ,  5F049NB10 ,  5F049PA05 ,  5F049PA11 ,  5F049RA02 ,  5F049SE05 ,  5F049SE09 ,  5F049SE20 ,  5F049SS01 ,  5F049SZ12 ,  5F049SZ13 ,  5F049WA03