特許
J-GLOBAL ID：200903069118191728
イオン放電電極及びその製造方法及びそれを用いたイオン発生器
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-130574
公開番号（公開出願番号）：特開2008-287964
出願日： 2007年05月16日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】 電圧印加式のイオン発生器に使用するイオン放電電極において、電極の強度を確保し、効率的にイオンを発生させ、かつイオン発生量を長期的に安定させるイオン放電電極とその製造方法についてである。【解決手段】 金属平板基材の片面にイオン放電電極の先端領域に該当する部分を残してレジストパターンを形成させたのちエッチング工程により前記先端領域をエッチングして肉薄化する第1の形状加工工程と、前記第1の形状加工工程の後に、前記イオン放電電極の外形部分の周辺領域に該当する部分を残してレジストパターンを形成させたのちエッチング工程により前記イオン放電電極の外形部を形成する第2の形状加工工程とを有することを特徴とするイオン放電電極の製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
金属平板基材の片面にイオン放電電極の先端領域に該当する部分を残してレジストパターンを形成させたのちエッチング工程により前記先端領域をエッチングして肉薄化する第1の形状加工工程と、前記第1の形状加工工程の後に、前記イオン放電電極の外形部分の周辺領域に該当する部分を残してレジストパターンを形成させたのちエッチング工程により前記イオン放電電極の外形部を形成する第2の形状加工工程とを有することを特徴とするイオン放電電極の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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