特許

J-GLOBAL ID：200903069118767514

室温又はそれに近い温度で保護無機及びDLCコーティングをなす方法

発明者： リー ウォールター ,  ブラッドフォード ドレーク ウェスト
出願人/特許権者： イーストマン コダック カンパニー
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-340226
公開番号（公開出願番号）：特開平10-176275
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【課題】 室温又はそれ近くで対象に保護薄膜無機又はダイアモンド類似カーボンコーティングをなす金属有機プラズマ増強化学蒸着法を提供する。【解決手段】 それは、チェンバー内に保持された対象を通過するよう対象に無機又はDLCコーティングを形成するための一以上の成分を含む反応性ガスを流し;化学蒸着により対象にアモルファス無機又はDLC薄膜保護コーティングが形成されるよう室温又はそれに近い温度で反応性ガスにプラズマ形成エネルギーを与える各段階からなる薄膜保護コーティングを対象に塗布する方法。

請求項（抜粋）：

チェンバー内に支持された対象に無機又はDLCコーティングを形成するための一以上の成分を含む反応性ガスを該対象に通過させて流し;化学蒸着により該対象にアモルファス無機又はDLC薄膜保護コーティングが形成されるよう室温又はそれに近い温度で該反応性ガスにプラズマ発生エネルギーを与える各段階からなる、対象に薄膜保護コーティングを塗布する方法。

IPC (3件)：

C23C 16/50 ,  C09D 5/00 ,  C23C 16/18

FI (3件)：

C23C 16/50 ,  C09D 5/00 ,  C23C 16/18