特許
J-GLOBAL ID：200903069131496872
走査型荷電粒子ビーム装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086012
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302294
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 磁界型の集束レンズの強度を変えた場合に、簡単に像の回転を防止し得る走査型荷電粒子ビーム装置を実現する。【構成】 第1のフレームメモリー11に記憶された信号は読み出されて第2のフレームメモリー12に供給されて記憶されるが、この際、第1のフレームメモリー11に記憶されている各信号のアドレスは、アドレス発生器15からの信号に基づいて変換され、変換されたアドレスに応じて第2のフレームメモリー12に供給されて記憶される。このアドレスの変換は、フォーカス値設定器16からの信号に基づき制御回路19からの信号により行われる。すなわち、制御回路19内には、各フォーカス値と回転角との関係を示すテーブルが記憶されており、制御回路19は、設定されたフォーカス値に基づいて回転角を認識し、その回転角に応じて第2のフレームメモリー12への信号のアドレス変換を行う。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源からの荷電粒子ビームを集束するための磁界型集束レンズと、荷電粒子ビームを試料上で2次元的に走査するための偏向手段と、試料への荷電粒子ビームの照射に基づいて得られた信号を検出する検出器と、検出器からの信号に基づいて、試料の走査像を表示するための表示手段とを備えた走査型荷電粒子ビーム装置において、検出器からの信号を記憶する第1のフレームメモリーと、第2のフレームメモリーと、第1のフレームメモリーの各アドレスの信号を読みだし、前記磁界型集束レンズの強度に応じて各信号のアドレスを変換し、第2のフレームメモリーに記憶させる手段とを備えており、第2のフレームメモリーに記憶された信号に基づいて走査像を表示するようにした走査型荷電粒子ビーム装置。
IPC (2件)：
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