情報記録担体用フォトレジスト及び情報記録担体

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-239164
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072619
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】光ディスクにおいて、エッジ部がシャ-プで表面が滑らかなピット又はグル-ブを形成して、ジッタ-値を小さくし、C/N値を大きく出来るようにし、それにより高品質で高記録密度に適したディスクを提供する。【構成】情報記録担体用ポジ型フォトレジストであって、340〜460nmの波長を有する紫外線に感光し、0.2規定の水酸化カリウム水溶液または0.15規定のテトラメチルアンモニウムヒドリド水溶液による30秒間の現像による未感光部の溶出量1を2nm以下とした。

請求項（抜粋）：

情報記録担体用ポジ型フォトレジストであって、340〜460nmの波長を有する紫外線に感光し、0.2規定の水酸化カリウム水溶液または0.15規定のテトラメチルアンモニウムヒドリド水溶液による30秒間の現像による未感光部の溶出量を2nm以下とした事を特徴とするフォトレジスト。

IPC (4件)：

G03F 7/004 511 , G03F 7/039 , G03F 7/26 501 , G11B 7/24 516

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平2-113249
特開平2-113249
特開平2-282745

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