特許
J-GLOBAL ID：200903069140359063
光伝導素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-138067
公開番号（公開出願番号）：特開平6-350120
出願日： 1993年06月10日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンド膜を用いた高速高耐圧の光伝導素子を作製する。【構成】 誘電率が低く、絶縁特性にも優れたダイヤモンド膜22上に2つの白金電極23をギャップを介して対向させて配置し、さらにギャップ間をダイヤモンド膜で覆ったストリップライン型をとることにより、表面絶縁破壊をさけることができ、高速高耐圧化が実現された。
請求項（抜粋）：
基体上のダイヤモンド膜上にギャップを介して2つの電極を設け、ギャップ内およびギャップ上がダイヤモンドにより覆われていることを特徴とする光伝導素子。
IPC (2件)：
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