特許

J-GLOBAL ID：200903069143017899

デスクリート用基板の製造方法

発明者： 佐藤 茂樹 ,  佐藤 勉
出願人/特許権者： 直江津電子工業株式会社
代理人 (1件)： 早川 政名 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-133794
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326753
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】 低いレベルの転位密度のデスクリート用基板を対象に、要求される転位密度のレベルに自在に合わせ込むことができる製造方法を提供すること。【解決手段】 転位密度5000個/cm2 以下の一般的に低いレベルの転位密度といわれる範囲のデスクリート用基板を製造する時に、拡散前の素材ウエハ厚さを一定範囲内で調整してから拡散する。

請求項（抜粋）：

一方の面が拡散層(Xj)で他方の面の表面が研磨仕上げされている未拡散層(Xi)よりなる中間製品であるデスクリート用基板を拡散法にて製造する際に、その未拡散層の表面で計数される転位密度が5000個/cm2以下のデスクリート用基板を製造する方法において、拡散前の基材ウエハの厚さ(T)(単位 μm)を次式(1)とし、T=2Xj+Xi+α ...(1)この(1)式中のαの値を 330≦α≦ 930の範囲内で決定し、拡散前素材ウエハ厚さを予め調整することにより拡散後に目標としていた転位密度を得ることを特徴とするデスクリート用基板の製造方法。