特許

J-GLOBAL ID：200903069147307379

投影露光装置

発明者： 高橋 顕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132002
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323394
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 センサの蓄積時間やアンプのゲイン等の設定値を調整する回数や調整量を極力少なくし、スループットを向上させた投影露光装置を提供する。【解決手段】 複数の計測対象WMからの計測信号を順次検出する検出手段20と、前記計測信号を検出する際の検出条件を調整する条件調整手段24と、前記検出条件を調整する際の初期値を記憶する記憶手段25と、前記初期値を決定する初期値決定手段24と、前記複数の計測対象を、これらの計測対象が有する所定の特性に基づいてグループに分類する分類手段24とを有する投影露光装置において、前記初期値決定手段は、前記分類手段によって同一のグループに分類された計測対象からの計測信号を検出する際の検出条件に基づいて前記初期値を決定するように構成した。

請求項（抜粋）：

複数の計測対象からの計測信号を順次検出する検出手段と、前記計測信号を検出する際の検出条件を調整する条件調整手段と、前記検出条件を調整する際の初期値を記憶する記憶手段と、前記初期値を決定する初期値決定手段と、前記複数の計測対象を、これらの計測対象が有する所定の特性に基づいてグループに分類する分類手段とを有する投影露光装置において、前記初期値決定手段は、前記分類手段によって同一のグループに分類された計測対象からの計測信号を検出する際の検出条件に基づいて前記初期値を決定することを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (5件)：

H01L 21/30 525 N ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 526 A

Fターム (16件)：

5F046AA05 ,  5F046BA04 ,  5F046DB04 ,  5F046DB10 ,  5F046DC10 ,  5F046DD03 ,  5F046EA07 ,  5F046EA09 ,  5F046EB01 ,  5F046EB05 ,  5F046EC03 ,  5F046ED01 ,  5F046FA01 ,  5F046FA11 ,  5F046FC04 ,  5F046FC07