特許

J-GLOBAL ID：200903069156991690

透明薄膜抵抗体

発明者： 大谷強 ,  平田昌宏 ,  安宅功一
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-146578
公開番号（公開出願番号）：特開平8-337436
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】抵抗値が高く、かつ、均一な抵抗値分布を有することが要求されるタッチパネルセンサーの透明電極板として好適に用いられる薄膜抵抗体を提供する。【構成】ガラス基体の上に亜鉛を含む酸化錫を主成分とする透明薄膜を被覆し、この薄膜中には、亜鉛が錫に対して金属重量比で0.02〜0.6%含有するようにした。薄膜の膜厚を20nm〜300nmとすることにより、数百〜数MΩの抵抗値を有する薄膜抵抗体が基体全体にわたって抵抗分布良く得られる。

請求項（抜粋）：

透明基体の上に酸化錫を主成分とする透明薄膜が被覆された透明薄膜抵抗体であって、前記薄膜の抵抗値を、前記薄膜中に亜鉛を含有させることにより、酸化錫単独の薄膜の抵抗値よりも大きくした透明薄膜抵抗体。

IPC (7件)：

C03C 17/245 ,  C03C 17/25 ,  C23C 16/40 ,  C23C 30/00 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 ,  C23C 18/12

FI (7件)：

C03C 17/245 Z ,  C03C 17/25 A ,  C23C 16/40 ,  C23C 30/00 C ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 A ,  C23C 18/12