ウエハ洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾川秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180239
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003187
出願日： 1991年06月24日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】ウェハ洗浄装置の小型化、スループットの向上を図る。【構成】薬液処理槽、純粋槽、乾燥機等からなる洗浄経路を同心円上に形成し、該円の中心を回転軸として回転する搬送ロボットによりウェハを搬送するようにする。

請求項（抜粋）：

薬液処理槽、純水槽、乾燥機及びローダ/アンローダ部等が配置された洗浄経路を円上に形成し、上記円の中心上の軸を回転中心として回転する搬送ロボットによりウェハを搬送して上記薬液処理槽、純水槽、乾燥機にて処理しローダ/アンローダ部にてロード/アンロードするようにしてなることを特徴とするウェハ洗浄装置

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