特許

J-GLOBAL ID：200903069164811358

導電性表面の電解洗浄方法

発明者： ステブリアンコ,バレリッシュ・レオンティエビッチ ,  リアブコフ,ビタリッシュ・マカロビッチ
出願人/特許権者： メタル・テクノロジー・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-533282
公開番号（公開出願番号）：特表2001-501674
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：

【要約】導電性材料からなる加工物の表面の電解洗浄方法であって、1)加工物の表面からなるカソードと不活性アノードとを備えた電解セルを用意する工程と、2)アノードとカソードの間に形成された領域へ電解液を導入する工程であって、加圧下でアノードの1以上の孔、溝又は開口を通過させることにより電解液を流し、それにより、電解液に浸漬していないカソード表面に電解液を衝突させて電解液を導入する工程と、そして3)アノードとカソードの間に電圧を印加し、電圧を増加させても電流が減少する又は実質的に一定である状態であって、処理の間加工物の表面に不連続な気体及び/又は蒸気の泡が存在する状態で処理を行う工程とからなる。

請求項（抜粋）：

導電性材料からなる加工物の表面の電解洗浄方法であって、上記方法が、1)加工物の表面からなるカソードと不活性アノードとを備えた電解セルを用意する工程と、2)アノードとカソードの間に形成された領域へ電解液を導入する工程であって、加圧下でアノードの1以上の孔、溝又は開口を通過させることにより電解液を流し、それにより、電解液に浸漬していないカソード表面に電解液を衝突させて電解液を導入する工程と、そして3)アノードとカソードの間に電圧を印加し、該電圧を増加させても電流が減少する又は実質的に一定である状態であって、処理の間加工物の表面に不連続な気体及び/又は蒸気の泡が存在する状態で処理を行う工程とからなる電解洗浄方法。