特許
J-GLOBAL ID：200903069167565412
ウェハ搬送制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-133265
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330379
出願日： 1995年05月31日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 枚葉処理を行うマルチチャンバ半導体装置において、複数品種のウェハを処理する場合に、全体の処理が終了するリ-ドタイムを短くすること。【構成】 ウェハカセットに収納されたウェハの品種に対応した工程を決定する第1工程と、この第1工程で決定された工程で使用するチャンバを決定する第2工程と、この第2工程で決定されたチャンバを使用中に設定する第3工程とを具備し、ウェハカセットに収納されている複数品種のウェハに対して上記第1乃至第3工程を行って、ウェハカセットに複数品種のウェハが収納されている場合に使用するチャンバを決定するようにしている。
請求項（抜粋）：
ウェハカセットに収納されたウェハの品種に対応した工程を決定する第1工程と、この第1工程で決定された工程で使用するチャンバを決定する第2工程と、この第2工程で決定されたチャンバを使用中に設定する第3工程とを具備し、ウェハカセットに収納されている複数品種のウェハに対して上記第1乃至第3工程を行って、ウェハカセットに複数品種のウェハが収納されている場合に使用するチャンバを決定するようにしたことを特徴とするウェハ搬送制御方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B01J 19/00
, H01L 21/02
H01L 21/68 A
, B01J 19/00 J
, H01L 21/02 Z
