特許

J-GLOBAL ID：200903069168086259

ポジ型感光性組成物

発明者： 近藤 俊一 ,  梅原 明 ,  青谷 能昌 ,  山岡 亜夫
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-018793
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230574
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 高い感光性を有しかつ広範囲の波長光での使用が可能なポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 (a)下記一般式(I)で示されるエノールエーテル基を少なくとも2個有する化合物、(b) 酸基を有する線状高分子、及び(c) 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物、を含有し、かつ(a)成分と(b)成分とが熱により架橋されていることを特徴とするポジ型感光性組成物。 (R2)(R1)C=C(R3)-O- (I)式中、R1 、R2 及びR3 は水素、アルキル基又はアリール基を表し、同一もしくは異なっていてもよい。また、それらの内の2つが結合して飽和又はオレフィン性不飽和の環を形成してもよい。

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(I)で示されるエノールエーテル基を少なくとも2個有する化合物、(b) 酸基を有する線状高分子、及び(c) 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物、を含有し、かつ(a)成分と(b)成分とが熱により架橋されていることを特徴とするポジ型感光性組成物。 (R2)(R1)C=C(R3)-O- (I)式中、R1 、R2 及びR3 は水素、アルキル基又はアリール基を表し、同一もしくは異なっていてもよい。また、それらの内の2つが結合して飽和又はオレフィン性不飽和の環を形成してもよい。

IPC (7件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/38 501 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-126408
  
• 特開平4-181047