半導体装置の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉武賢次 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-560436
公開番号（公開出願番号）：特表2003-523626
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2003年08月05日
要約：

【要約】本発明は、第一の導電タイプの半導体本体(1)の表面(2)にトランジスタを設けられ、このトランジスタがゲート(28)を持ち、このゲートが上記第一の導電タイプの半導体本体の表面(2)の所に設けられたチャネル(13)からゲート誘電体(26)によって絶縁される半導体装置の製造方法に関する。本発明によると、上記表面(2)上に構造体が設けられるが、この構造体は凹部(16)を持つ誘電層(14)から成る。この凹部は上記半導体本体(1)の上記表面(2)に設けられた第二の導電タイプのソース領域(11、9)およびドレイン領域(12、9)と整合され、上記半導体本体(1)の上記表面(2)に対して実質的に垂直に延びる側壁(17)を持つ。この凹部(16)内に第一のサブ層(18)とこの上の第二のサブ層(19)から成る二重層(20)が設けられる。上記第二のサブ層(19)の厚さの一部が上記第一のサブ層が露出されるまで除去され、上記第一のサブ層(18)が所定の深さまで、上記第二のサブ層(19)および上記凹部(16)の上記側壁(17)に対して選択的にエッチングされ、これによって上記半導体本体(1)の上記表面(2)に実質的に垂直に延びるトレンチ(21)が形成される。これらトレンチ(21)を介して、上記第一の導電タイプの不純物が上記半導体本体(1)内に導入され、これによってポケットインプラトン(22)が形成される。

請求項（抜粋）：

第一の導電タイプの半導体本体の表面にトランジスタが設けられ、このトランジスタがゲートを持ち、このゲートが半導体本体の表面に設けられたチャネルからゲート誘電体によって絶縁される半導体装置の製造方法であって、前記表面の上に、凹部を持つ誘電層から成る構造体が設けられ、前記リセスは、前記半導体本体の前記表面に設けられた第二の導電タイプのソース領域およびドレイン領域と整合されるとともに前記半導体本体の前記表面に対して実質的に垂直に延びる側壁を持ち、前記凹部内に第一のサブ層とこの上の第二のサブ層から成る二重層が設けられ、前記第二のサブ層の厚さの一部が前記第一のサブ層が露出されるまで除去され、前記第一のサブ層が所定の深さまで、前記第二のサブ層および前記凹部の前記側壁に対して選択的にエッチングされ、これによって前記半導体本体の前記表面に実質的に垂直に延びるトレンチが形成され、これらトレンチを介して第一の導電タイプの不純物が前記半導体本体内に導入され、これによってポケットインプラントが形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。

IPC (6件)：

H01L 29/78 , H01L 21/28 301 , H01L 21/28 , H01L 21/336 , H01L 29/423 , H01L 29/49

FI (5件)：

H01L 21/28 301 A , H01L 21/28 301 R , H01L 29/78 301 G , H01L 29/58 G , H01L 29/78 301 P

Fターム (56件)：

4M104BB01 , 4M104BB02 , 4M104CC05 , 4M104DD03 , 4M104DD04 , 4M104FF13 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 5F140AA06 , 5F140AA18 , 5F140AB03 , 5F140BA01 , 5F140BC06 , 5F140BD05 , 5F140BD07 , 5F140BD11 , 5F140BD12 , 5F140BE03 , 5F140BE07 , 5F140BE09 , 5F140BE10 , 5F140BE14 , 5F140BF04 , 5F140BF05 , 5F140BF07 , 5F140BF10 , 5F140BF11 , 5F140BF14 , 5F140BF15 , 5F140BF17 , 5F140BF20 , 5F140BF21 , 5F140BF24 , 5F140BF25 , 5F140BF27 , 5F140BG02 , 5F140BG03 , 5F140BG04 , 5F140BG12 , 5F140BG36 , 5F140BG40 , 5F140BG52 , 5F140BG53 , 5F140BG54 , 5F140BH15 , 5F140BH21 , 5F140BH35 , 5F140BK02 , 5F140BK13 , 5F140BK21 , 5F140BK22 , 5F140CB01 , 5F140CB04 , 5F140CC03 , 5F140CE07

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