特許
J-GLOBAL ID：200903069171416669

元素別X線蛍光顕微鏡および動作の方法

発明者：
ユン,ウェンビング

ユン,ウェンビング について

, 
ニル,ケネス・ダブリュ

ニル,ケネス・ダブリュ について


出願人/特許権者：
エクスレイディア・インコーポレイテッド

エクスレイディア・インコーポレイテッド について


代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-509399
公開番号（公開出願番号）：特表2005-527833
出願日： 2003年05月29日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
元素別の画像化技術は、一次電離放射線によって誘発される元素に特有の蛍光X線を利用する。対象の元素からの蛍光X線は、光学機器の列を使用して検出器に優先的に画像化される。光学機器の列の優先的な画像化は、好適に構成された画像化システムで着色レンズを使用して実現される。ゾーンプレートはそのような着色レンズの例であり、その焦点距離はX線の波長に反比例する。ゾーンプレートレンズ自身が実質的に同じ元素を含む場合、試験試料内の所与の元素の優先的な画像化が向上される。たとえば、Cu Laスペクトル線を使用して銅を画像化するとき、銅のゾーンプレートレンズが使用される。さらに、スループットを増加するため、および立体的または断層の画像化を行なうために複数の画像化システムが使用される。
請求項（抜粋）：
試験物体内の対象の元素を検出するための方法であって、このプロセスは、 前記試験物体を照射して前記対象の元素から二次蛍光X線放射線を誘発するステップと、 前記対象の元素からの前記二次蛍光X線放射線を検出器に画像化するステップとを含む、方法。
IPC (7件)：
G01N23/223 ,  G01N23/225 ,  G21K1/06 ,  G21K3/00 ,  G21K7/00 ,  H01J37/12 ,  H01J37/244
FI (7件)：
G01N23/223 ,  G01N23/225 ,  G21K1/06 B ,  G21K3/00 S ,  G21K7/00 ,  H01J37/12 ,  H01J37/244
Fターム (50件)：
2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001AA09 ,  2G001AA10 ,  2G001BA04 ,  2G001BA08 ,  2G001BA09 ,  2G001BA11 ,  2G001BA14 ,  2G001BA15 ,  2G001BA18 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA06 ,  2G001DA09 ,  2G001EA01 ,  2G001EA02 ,  2G001EA03 ,  2G001EA06 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA05 ,  2G001KA01 ,  2G001KA03 ,  2G001KA11 ,  2G001LA01 ,  2G001LA11 ,  2G001MA06 ,  2G001NA03 ,  2G001NA04 ,  2G001NA06 ,  2G001NA07 ,  2G001NA09 ,  2G001NA13 ,  2G001NA17 ,  2G001SA01 ,  2G001SA03 ,  2G001SA10 ,  2G001SA30 ,  5C033CC01 ,  5C033NN01 ,  5C033NN10 ,  5C033NP01
引用特許：
審査官引用 (7件)
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