特許

J-GLOBAL ID：200903069172442191

製造装置

発明者： 塚崎 尚 ,  吉田 和夫 ,  森田 浩正 ,  小崎 浩二
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  株式会社アドバンスト・ディスプレイ
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-009283
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217172
出願日： 2001年01月17日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【課題】 製造コストを低減することができるとともに、シールド板の寸法精度を維持することができる製造装置を提供する。【解決手段】 真空槽内に配置される上部電極と、該上部電極に対向して配置される下部電極と、該下部電極に載置される基板の外周に配置されるシールド板とを備える製造装置であって、前記シールド板を小ピースに分割する。

請求項（抜粋）：

真空槽内に配置される上部電極と、該上部電極に対向して配置される下部電極と、該下部電極に載置される基板の外周に配置されるシールド板とを備える製造装置であって、前記シールド板を小ピースに分割したことを特徴とする製造装置。

IPC (6件)：

H01L 21/3065 ,  B01J 19/08 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205

FI (6件)：

B01J 19/08 H ,  C23C 14/00 B ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Fターム (32件)：

4G075AA30 ,  4G075BC02 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075CA65 ,  4G075DA01 ,  4G075EB01 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075EE12 ,  4K029BA35 ,  4K029BB08 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029DA10 ,  4K029DC20 ,  4K030BA29 ,  4K030BB03 ,  4K030KA12 ,  4K030LA16 ,  5F004AA16 ,  5F004BA06 ,  5F004BB23 ,  5F004BB28 ,  5F004BB29 ,  5F045AA08 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045EB03 ,  5F045EF20 ,  5F103AA08 ,  5F103BB47