特許
J-GLOBAL ID：200903069178494673
熱電材料の製造方法および製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-162663
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013821
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、熱を電気に変換する熱電材料の製造方法および製造装置に関するもので、特に高性能の金属-珪素系合金熱電材料の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。【構成】 酸素または水素との結合を有したSiの分子またはラジカルを作り出す機構と前記Siの分子またはラジカルを付着させる基板18を具備したアモルファス作製用真空容器7と、金属または合金蒸発源と不活性ガス導入口を具備した超微粒子作製用真空容器8と、前記超微粒子作製用真空容器中で作製した超微粒子を前記アモルファス作製用真空容器7中に導入するオリフィス9を有した連結管10から構成される熱電材料の製造装置を用いて、真空容器内でSiに水素または酸素を含んだアモルファス薄膜を基板18上に製膜する過程と、前記アモルファス薄膜を製膜している前記基板表面に平均粒径40〜400Åの金属または金属-珪素系合金の超微粒子を付着させる過程とを同時に行って熱電材料を作製する。
請求項（抜粋）：
真空容器内でSiに水素または酸素を含んだ薄膜を基板上に製膜する過程と、前記薄膜を製膜している前記基板表面に金属または金属-珪素系合金の超微粒子を付着させる過程とを同時または交互に行う熱電材料の製造方法。
IPC (2件)：
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