金属原盤製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-104662
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274744
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】高品質のマスタ、マザーまたはスタンパを、不良工程を回避して、短時間に製作したいという要請がある。【解決手段】ガラス原盤1上に金属層4を形成したのち表面を研磨し、この表面に第1薄膜2を形成し、カッティング、露光、現像をおこなった後にドライエッチング等により金属層4に情報パターンを形成し、この金属層4を金属原盤とした。

請求項（抜粋）：

基板上に金属層を形成し、該金属層に熱昇華性物質またはフォトレジストの薄膜を形成し、該薄膜にレーザ光を照射して情報パターンを形成し、該情報パターンと同じ情報パターンを前記金属層上に形成し、前記金属層を金属原盤とすることを特徴とする金属原盤製造方法。

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