特許
J-GLOBAL ID：200903069189403955
半導体マイクロマシン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158047
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335675
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 加速度センサ,角速度センサ,圧力センサ等といった物理量センサとして使用することができ,測定精度が高く,製造の歩留まり率が高く,取扱い容易である半導体マイクロマシンを提供すること。【解決手段】 基板11と可動部12とよりなると共に,それぞれ基板側電極111及び可動部側電極121が設けてある。基板側電極111と可動部側電極121との間の静電容量を検出するための検出回路52を有し,ここの検出値より基板11と可動部12との距離変位量等を検出し,可動部12にはスパイラル状の第一コイル18を設けてある。
請求項（抜粋）：
基板と,該基板に間隙部を設けて対向配置され,かつ針状体によって支持された可動部とよりなると共に,上記基板及び上記可動部にはそれぞれ基板側電極及び可動部側電極が設けてなり,更に上記基板側電極と上記可動部側電極との間の静電容量を検出するための検出回路を有し,該検出回路の検出値より上記基板と上記可動部との距離変位量または上記基板に対する上記可動部の可動部変位量を検出する半導体マイクロマシンにおいて,上記可動部にはスパイラル状の第一コイルを設けてあることを特徴とする半導体マイクロマシン。
IPC (5件)：
H01L 29/84
, G01C 19/56
, G01L 1/14
, G01L 9/12
, G01P 15/125
H01L 29/84 Z
, G01C 19/56
, G01L 1/14 A
, G01L 9/12
, G01P 15/125
