特許
J-GLOBAL ID：200903069194376656
連続露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
越場 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-303738
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121368
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】移動する複数の球形の基体の表面を連続的に露光する装置を提供する。【解決手段】光源22と、該光源22から発生した光を該基体30に導く光学装置21、22と、回転する環状部材11と、該環状部材11の内側に装着された複数の基体ホルダ12と、該基体ホルダ12に基体30を1個ずつ供給するフィーダ14と、該基体ホルダ12から露光済みの基体30を回収するコレクタ15とを備え、該環状部材11の所定区間において、該光学装置22の出射端が、該基体ホルダ12に保持されたひとつの基体30に対して一定の相対位置を維持して移動する動作を繰り返すように構成されている。
請求項（抜粋）：
連続して走行する複数の球形の基体の表面にマスクを介して光を照射して該基体の表面を一定のパターンに従って露光する工程を、複数の基体に対して連続的に行う装置であって、光源と、該光源から発生した光を所定のパターンに従って該基体の表面に導く光学装置と、回転する環状部材と、該環状部材の内側に装着された複数の基体ホルダと、該基体ホルダに基体を1個ずつ供給するフィーダと、該基体ホルダから露光済みの基体を回収するコレクタとを備え、該環状部材の所定区間において、該光学装置の出射端が、該基体ホルダに保持されたひとつの基体に対して一定の相対位置を維持して移動する動作を繰り返すように構成されていることを特徴とする連続露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 515 D
, G03F 7/24 H
