特許
J-GLOBAL ID：200903069196238781
1次元CCDカメラによる2次元の定量測定方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-288975
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137820
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 1次元CCDカメラを使用して、移動機構を設けずに2次元の変化を測定する測定方法とその装置を提供することを目的とする。【構成】 測定基準ステージ2上でこの測定基準ステージ2の表面に平行な平面状の光束を発生する光源3と、この光束の光軸上に固定して配設された1次元CCDカメラ1よりなり、この1次元CCDカメラ1には平面状の光束に平行する半円筒レンズ1aとこの半円筒レンズ1aの焦点に配設されたCCD素子1bを設けたものである。
請求項（抜粋）：
1次元CCDカメラを使用して、X方向の位置は各CCD素子ごとに分割し、Y方向の変量は遮光障害物の背後から照射する平面状の光束の通過量の変化を各CCD素子ごとの照射量に変換させてキャリヤの移動を制御し、この移動に応じた出力によりY方向の変量を検出することを特徴とする1次元CCDカメラによる2次元の定量測定方法。
IPC (2件)：
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