特許
J-GLOBAL ID:200903069197381898

熱電装置とこれを用いた光モジュール及びこれらの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 正緒
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-115929
公開番号(公開出願番号):特開2003-174202
出願日: 2002年04月18日
公開日(公表日): 2003年06月20日
要約:
【要約】【課題】 熱電素子の小型化・高密度化が可能であり、n型とp型の熱電素子を直交配列させた配線抵抗の低い熱電装置、及びこれを用いた光モジュール、並びにこれらの製造方法を提供する。【解決手段】 フォトリソグラフィーとエッチングにより基材の両面に多数の細孔を規則的に形成し、この中に充填した熱電材料を焼結してn型とp型の熱電素子を製造する。n型熱電素子51とp型熱電素子52が縦に4個以上且つ横に4個以上XY平面上に直交配列し、全ての熱電素子51、52のXY方向におけるサイズが250μm以下であって、n型熱電素子51に最も近く隣接した4個の熱電素子がp型で、p型熱電素子52に最も近く隣接した4個の熱電素子はn型である。熱電素子51、52は、基板54上の長方形又は角が丸い長方形の電極54に、金属接合材を介して接合されている。
請求項(抜粋):
n型とp型の熱電素子を縦に4個以上且つ横に4個以上XY平面上に直交配列した熱電装置において、全ての熱電素子のXY方向におけるサイズが250μm以下であって、n型の熱電素子に最も近く隣接した4個の熱電素子がp型であり、p型の熱電素子に最も近く隣接した4個の熱電素子はn型であることを特徴とする熱電装置。
IPC (6件):
H01L 35/16 ,  H01L 23/38 ,  H01L 35/08 ,  H01L 35/32 ,  H01L 35/34 ,  H01S 5/024
FI (6件):
H01L 35/16 ,  H01L 23/38 ,  H01L 35/08 ,  H01L 35/32 A ,  H01L 35/34 ,  H01S 5/024
Fターム (7件):
5F036AA01 ,  5F036BA33 ,  5F073AB27 ,  5F073AB28 ,  5F073BA03 ,  5F073EA29 ,  5F073FA25
引用特許:
審査官引用 (5件)
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