フィルムホルダ、フィルム収容治具及びこれらを用いた液晶表示素子の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森下武一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-198220
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014309
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】可撓性や熱収縮性を有するフィルムを、傷つけたり汚したりすることなく保持できるフィルムホルダ、複数のフィルムをバッチ処理可能とすると共に枚葉処理をも可能なフィルム収容治具、及びフィルムの各種処理を効率化した液晶表示素子の製造方法を提供する。【解決手段】フレーム枠1にフィルムの4隅を挟持するクリップ2a〜2dを有するフィルムホルダ。右側のクリップ2b,2dは横方向に移動自在であってコイルバネ4a,4bによって弾性的に付勢されている。下側のクリップ2c,2dはスライド部材3に取り付けられ、上下動自在である。フィルムの枚葉処理はこのホルダにフィルムを取り付けて行われる。また、フィルムはこのホルダに取り付けられた状態で、複数個のホルダがカセットに収容され、洗浄、乾燥、レジストプリベイク、レジスト現像等のバッチ処理が行われる。

請求項（抜粋）：

フィルムの少なくとも2ヶ所を支持する支持手段とフレーム枠とを有し、1枚のフィルムを装着して枚葉処理を可能にするフィルムホルダであって、前記支持手段のうちの少なくとも一つは前記フレーム枠に対して位置可変に設けられていること、を特徴とするフィルムホルダ。

IPC (2件)：

G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

FI (2件)：

G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

Fターム (9件)：

2H088FA10 , 2H088FA17 , 2H088FA29 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H090JB03 , 2H090JC19 , 2H090LA01 , 2H090LA02

前のページに戻る