特許

J-GLOBAL ID：200903069208326231

ダミーウェーハ

発明者： 森田 敬司 ,  五十嵐 昇 ,  内藤 良之 ,  安藤 和 ,  永坂 幸行 ,  原田 晴司
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-347831
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160240
出願日： 1991年12月03日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】 洗浄による蒸着物等の除去効果を高めると共に、膜の正確な純度分析を可能とし、かつ洗浄の際の耐薬品性を優れたものとする。【構成】 純度が99.9%以上、かさ比重が3.98以上の透光性多結晶アルミナセラミックスから構成することにより、高純度で、実質的に気孔が無く、真密度焼結体となし、光を通すスリガラス状の外観を呈させる。

請求項（抜粋）：

純度が99.9%以上、かさ比重が3.98以上の透光性多結晶アルミナセラミックスからなることを特徴とするダミーウェーハ。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭53-112912