特許

J-GLOBAL ID：200903069210826462

露光用照明装置

発明者： 冨永 学 ,  田中 裕之
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271502
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109603
出願日： 1991年10月18日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 投影露光装置用の照明光学系に関し,σ値を可変にする際に,σ絞りの開口径を小さくする場合に照明の均一性が阻害されないようにし,且つσ値の変更が容易に行えることを目的とする。【構成】 1)照明系の空間的干渉度(σ値)を決定するσ絞りと,該σ絞りの開口部に集束して配列されたフライアイレンズ群との組を複数組有し,開口径の小さいσ絞りに対する個々のフライアイレンズの断面は,開口径の大きいσ絞りに対する個々のフライアイレンズの断面より小さいように構成する。前記σ絞りとフライアイレンズ群との組が複数組円周または直線上に上に配列され,且つ各組が照明装置の光軸と一致するように所定量だけ移動できるように構成する。

請求項（抜粋）：

照明系の空間的干渉度(σ値)を決定するσ絞りと,該σ絞りの開口部に集束して配列されたフライアイレンズ群との組を複数組有し,開口径の小さいσ絞りに対する個々のフライアイレンズの断面は,開口径の大きいσ絞りに対する個々のフライアイレンズの断面より小さいことを特徴とする露光用照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 W