特許

J-GLOBAL ID：200903069211793924

ナンバリング装置

発明者： 横山 悟一 ,  井古田 まさみ ,  真壁 一也
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099440
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307255
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 製造工程の途中で被加工体に固有情報を再印字することができるようにする。【構成】 非描画領域のオリエンテーション・フラット(OF)に固有情報7が記録されているウェハ6に対し、このウェハ6が製造工程を流れている途中の工程で固有情報7を読取ヘッド2によって読み取り、この読取情報を基に前記記録位置と同一場所またはOF以外の非描画領域上に印字装置1及び印字ヘッド3を用いて第2の固有情報8を記録し、固有情報の読み取りが最終工程まで支障なく行えるようにする。

請求項（抜粋）：

表面が平坦な被加工体の特定の位置に記録されている固有の情報を複数工程から成る製造工程の途中の工程で読み取る読取手段と、この読取手段による情報を基に前記特定の位置と同一位置または処理や加工の障害にならない他の位置に第2の固有情報を記録する記録手段とを具備することを特徴とするナンバリング装置。