金属表面検査方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189938
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021500
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】金属表面を撮影して得られる各画像データに基づいて、欠陥部を異物と正確に区別できるようにする。【解決手段】同一の金属表面を、高角度、中角度及び低角度の各照明の下で、上方より撮影して得られた各画像データに、B、G、Rをそれぞれ割り当てた3つの画像データを合成し、合成されたRGBカラーの入力画像に基づいて金属の表面状態を検査する際、前記中角度及び低角度の両照明下における反射強度が大きい中・低角度照明反射部(C)のみの存在から、エッジを有する欠陥を識別し、前記高角度照明下における反射強度が表面部より大きい高角度照明反射部(E)のみの存在から接触疵を識別し、前記中・低角度照明反射部(C)及び前記高角度照明反射部(E)の近接存在から付着異物を識別する。

請求項（抜粋）：

同一の金属表面を、高角度、中角度及び低角度の各照明の下で、上方より撮影して得られた各画像データに、R、G、Bのいずれかをそれぞれ割り当てた3つの画像データを合成し、合成されたRGBカラー画像に基づいて金属の表面状態を検査する金属表面検査方法において、前記中角度及び低角度の両照明下における反射強度が大きい中・低角度照明反射部のみの存在から、エッジを有する欠陥を識別し、前記高角度照明下における反射強度が表面部より大きい高角度照明反射部のみの存在から接触疵を識別し、前記中・低角度照明反射部及び前記高角度照明反射部の近接存在から付着異物を識別することを特徴とする金属表面検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/89 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01N 21/89 610 B , G01N 21/88 J

Fターム (12件)：

2G051AA37 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051CA04 , 2G051CB05 , 2G051EA11 , 2G051EA17 , 2G051ED04 , 2G051ED11

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