特許

J-GLOBAL ID：200903069224575160

精密切削装置

発明者： 小野 喬利 ,  関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-083871
公開番号（公開出願番号）：特開平6-270038
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月27日
要約：

【要約】【目的】 スピンドルの高速回転による熱膨張によってスピンドルの寸法が変化しても、チャックテーブル上のウェーハに対して回転ブレードを正しく割り出し位置決め出来るようにした精密切削装置を得る。【構成】 被加工物を保持して切削方向に移動可能なチャックテーブルと、このチャックテーブルの移動方向に対して直角方向に割り出し移動可能なスピンドルユニットとを具備する精密切削装置において、チャックテーブルとスピンドルユニットとが同一の基台に配設されており、且つスピンドルユニットに装着されているブレードの割り出し位置を測定するレーザー測定装置が前記基台に配設されている。回転ブレードの切り刃部にレーザー光を照射してブレードの割り出し位置を測定する。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持して切削方向に移動可能なチャックテーブルと、このチャックテーブルの移動方向に対して直角方向に割り出し移動可能なスピンドルユニットとを具備する精密切削装置において、前記チャックテーブルとスピンドルユニットとが同一の基台に配設されており、且つ前記スピンドルユニットに装着されているブレードの割り出し位置を測定するレーザー測定装置が前記基台に配設されていることを特徴とする精密切削装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-268483
  
• 特開平4-240044
  
• 特開昭58-040247
  
• 特開平2-232168