特許

J-GLOBAL ID：200903069231631939

感熱式流量センサ

発明者： 岸本 雄治 ,  山川 智也
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114726
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312612
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 温度特性のすぐれた感熱式流量センサを得る。【構成】 流体の流通する流管1内に発熱体2と測温体3およびこれと直列にして流管1内の低流量域に第2の測温体R4を配置し、これらと抵抗R2,R3とともにブリッジ回路を構成し、発熱体2と第2の測温体R4とをブリッジ回路の対辺に配置し、第1と第2の測温体の接続点bの分圧比を流体の実温度よりも低温側にし、発熱体2の温度を低下させ、全熱損失の温度特性を正確に補正する。【効果】 計測流量の全域に亘って温度特性がすぐれる。

請求項（抜粋）：

流体の流路に配置された発熱体と並列に接続され、上記流体の温度を測定する第1の測温体と、この第1の測温体と直列に接続され流体の温度を測定する第2の測温体と、この第2の測温体と上記発熱体とが対辺となるように上記発熱体と上記第1の測温体および上記第2の測温体とともにブリッジ回路を構成する抵抗とを備えた感熱式流量センサ。