特許
J-GLOBAL ID：200903069236110759
欠陥検査装置および欠陥検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-065077
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273344
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 検出感度を複数設定することにより広範囲に亘るサイズの異物を弁別することのできる欠陥検査装置および方法を提供することを目的とする。【構成】 被検査面上の欠陥を光学的に検査する本発明の欠陥検査装置は、被検査面上を光ビームで走査するための光ビーム走査手段と、下限値としての検出しきい値と上限値としての飽和レベルとに基づいて規定される第1の検出能力範囲をもって被検査面からの反射光を検出するための第1の検出手段と、前記第1の検出能力範囲と実質的に連続する第2の検出能力範囲をもって被検査面からの反射光を検出するための第2の検出手段とを備え、選択した所要の検出能力で光電信号を処理することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被検査面上の欠陥を光学的に検査する欠陥検査装置において、被検査面上を光ビームで走査するための光ビーム走査手段と、下限値としての検出しきい値と上限値としての飽和レベルとに基づいて規定される第1の検出能力範囲をもって被検査面からの反射光を検出するための第1の検出手段と、前記第1の検出能力範囲と実質的に連続する第2の検出能力範囲をもって被検査面からの反射光を検出するための第2の検出手段とを備え、選択した所要の検出能力で光電信号を処理することを特徴とする装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
