特許
J-GLOBAL ID：200903069239898071
ウェハ位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-084225
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297264
出願日： 1994年04月22日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【構成】 本発明のウェハ位置検出装置は、複数のウェハ8を水平状態で格納するためのウェハキャリアに対して上下方向に移動することによりウェハキャリアに格納された所定のウェハの高さ方向の位置を検出する高さ検出用センサ3と、前記ウェハ8とその下段のウェハとの隙間に挿入するように移動することにより前記ウェハの端面の水平方向の位置を検出する水平方向位置検出用センサ4とを架台5に組込んだセンサモジュール1をロボットアーム2で上下および水平方向に移動させることを特徴とする。【効果】 移載対象のウェハの3次元位置データをもとにウェハの位置,姿勢を計測し、これに基いて移載用のハンドの位置決めをするので、ウェハの位置ずれや傾斜に対応でき、ハンドの位置決めをウェハキャリアに対して行なっていた従来技術に比べて、正確な移載を可能にする。
請求項（抜粋）：
複数のウェハを水平状態で格納するためのウェハキャリアに対して上下方向に移動することにより前記ウェハキャリアに格納された所定のウェハの高さ方向の位置を検出する高さ検出用センサと、前記所定のウェハとその下段のウェハとの隙間に挿入するように移動することにより前記所定のウェハの端面上の水平方向の位置を検出する水平方向位置検出用センサと、前記2つのセンサを移動させるための駆動機構とを具備したことを特徴とするウェハ位置検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G01B 11/00
