特許

J-GLOBAL ID：200903069243196812

プローブ走査装置

発明者： 安武 正敏 ,  佐藤 順紘 ,  井上 明
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-025513
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221349
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 構成が簡単で、操作性が良好なダイナミックレンジ切替え機構を有するプローブ走査装置を提供することにある。【解決手段】 z方向のボイスコイルモータの可動子24にスピンドル28aが取付けられている。該スピンドル28aには細線28bを介してスピンドル28cが接続され、該スピンドル28cに探針30が取付けられている。スピンドル28aにダイナミックレンジ用ばね41を選択的に連結できるようにするための機械式ダイナミックレンジスイッチ42が設けられている。該スイッチ42は、その内部に定融点金属を有しており、該スイッチが有する加熱コイルへの通電を制御することにより、該定融点金属を固化または軟化させることができ、スイッチをオンオフさせることができる。このため、簡単な構成でかつ簡単にダイナミックレンジを切替えることができるようになる。

請求項（抜粋）：

少なくとも、z方向に配置されたボイスコイルモータからの動力を受けるスピンドルと該スピンドルの先端に取付けられた探針とを有するプローブ走査装置において、 前記スピンドルに弾性部材を選択的に連結する低融点金属を用いたスイッチ手段を具備し、 該スイッチ手段により、前記スピンドルに弾性部材を連結することによりダイナミックレンジを切替えるようにしたことを特徴とするプローブ走査装置。