特許

J-GLOBAL ID：200903069243649116

直定規の直線度測定のための順次式マルチプローブ法

発明者： レイケン,アントニウス エム ,  キュッペン,マルティニュス アー エム ,  ヤンセン,エリク イェー エム ,  ライエル,テオ アー エム
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (4件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重 ,  永坂 均
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-546258
公開番号（公開出願番号）：特表2008-524576
出願日： 2005年12月12日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：

直定規の直線度の測定のためのシステム及び方法であって、測定システムは、案内面(G(x))に沿って移動するキャリッジ(4)を使用して、直定規(3)に沿って順次式に測定するための多プローブ(4a,4b,4c)装置(4)を含む。キャリッジ(4)は、測定値を取るために、直定規(3)の1つの表面(S(x))に沿って移動され、次に、直定規(3)の反対表面(S'(x))に移転され、測定値を取るために、直定規(3)の反対表面に沿って移動される。直定規の両面で取られる測定地点の加算及び減算によって、プローブに起因する組織的誤差を特定し得る。それによって、直定規の直線度の測定が改良される。それによって、製造並びに作業片及び他の部分の測定における誤差は減少される。方法及び装置を直線度のオンライン較正のためにも使用し得る。

請求項（抜粋）：

案内面に沿って移動するキャリッジを使用して直定規に沿う順次式測定のための多プローブ装置を使用する前記直定規の直線度の測定のための順次式多プローブ方法であって、前記キャリッジは、測定値を取るために、前記直定規の1つの表面に沿って移動され、測定値を取るために、前記直定規の反対表面に沿って順次式に移動される、順次式多プローブ方法。

IPC (1件)：

G01B 5/20

FI (1件)：

G01B5/20

Fターム (8件)：

2F062AA55 ,  2F062BB01 ,  2F062EE04 ,  2F062EE64 ,  2F062FF03 ,  2F062HH05 ,  2F062JJ00 ,  2F062MM01