特許

J-GLOBAL ID：200903069249807341

ラザフォード後方散乱分光分析装置

発明者： 田中 幸基
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-116450
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308058
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 ラザフォード後方散乱分光分析を、イオンの照射量を増やしたり、検出器の不感時間を増やしたりすることなく、高感度に行うことができるようにすることを目的とする。【構成】 分析チャンバー内に複数個の散乱イオン検出器4-1〜4-nを取り付けるとともに、前記複数の散乱イオン検出器から出力される信号を増幅するための増幅器5-1〜5-nを設けて前記複数の散乱イオン検出器からの信号を増幅し、次いで、前記増幅した信号をアナログディジタル変換器6-1〜6-nによりディジタル信号に変換し、さらに、前記ディジタル信号に変換された信号を多重チャネル波高分析器7-1〜7-nにより波高分析するとともに、測定スペクトルのずれを合成スペクトル生成器8でもって補正した後で加算するようにして、エネルギー分解能を劣化させることなく散乱イオンの検出効率を向上させるようにする。

請求項（抜粋）：

分析チャンバー内に取り付けられた2個以上の散乱イオン検出器と、前記複数の散乱イオン検出器から出力される信号を増幅するために設けられた増幅器と、前記増幅器によって増幅された散乱イオン検出器からの信号をディジタル信号に変換するためのアナログディジタル変換器と、前記アナログディジタル変換器によってディジタル信号に変換された前記散乱イオン検出器から出力された信号を波高分析する多重チャネル波高分析器とを具備することを特徴とするラザフォード後方散乱分光分析装置。