特許

J-GLOBAL ID：200903069250063925

高速原子線源

発明者： 畠山 雅規
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097106
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289197
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 低エネルギーの、粒子線束の高い高速原子線を効率よく放出できる高速原子線源を提供する。【構成】 高速原子放出孔を有する陰極21と、該陰極21と所定間隔を有して対向配置された陽極22と、該陰極及び該陽極を内蔵する外筒容器23内に反応ガス5を導入するガスノズル4と、前記陰極21に負電位を前記陽極22に正電位を与える直流高圧電源3とからなり、外筒容器内の陽極上流部26に光エネルギーを導入する手段24,25を備えた。

請求項（抜粋）：

高速原子放出孔を有する陰極と、該陰極と所定間隔を有して対向配置された陽極と、該陰極及び該陽極を内蔵する外筒容器内に反応ガスを導入するガスノズルと、前記陰極に負電位を前記陽極に正電位を与える直流高圧電源とからなり、前記外筒容器内の陽極上流部に光エネルギーを導入する手段を備えたことを特徴とする高速原子線源。