特許

J-GLOBAL ID：200903069253604161

超純水の分析装置、超純水製造管理システム及び超純水の分析方法

発明者： 須田 一彦 ,  中村 穣
出願人/特許権者： 野村マイクロ・サイエンス株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-260717
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083127
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 試料の汚染を抑制しつつ、試料の採取・分析を行う。【解決手段】 試料採取・濃縮装置7には、導入管3、弁4、イオン交換カラム5及び排出管6が設けられ、弁4は切り替え式の2流路を有し、導入管3が超純水配管1から送られる超純水を試料採取・濃縮装置7に導入する際に、導入管3から導入される超純水の流路をイオン交換カラム5のバイパス側に切り替え、超純水の流路を超純水で洗浄した後、導入管3から導入される超純水の流路をイオン交換カラム5側に切り替え、超純水に含まれるイオンを採取・濃縮する。

請求項（抜粋）：

イオン交換カラムと、試料を前記イオン交換カラムに導入する導入管と、試料を排出する排出管と、前記導入管に導入された試料を前記イオン交換カラムを迂回して前記排出管に排出する迂回手段とを備えること特徴とする超純水の分析装置。

IPC (3件)：

G01N 30/02 ,  G01N 30/16 ,  G01N 30/72

FI (3件)：

G01N 30/02 M ,  G01N 30/16 Z ,  G01N 30/72 C