特許
J-GLOBAL ID：200903069256835989
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-127185
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333846
出願日： 1994年06月09日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 凹凸への追従性良好で、埋込部の現像性を向上させた感光性樹脂組成物。【構成】 ポリマーとして低分子量ポリマー/高分子量ポリマーをブレンドして用い、モノマーとしてポリプロピレングリコールジアクリレートを用いることにより、70μmの凹凸に追従し、しかもその部分の最少現像時間が35〜40秒程度で更にレジスト形状も良好となる感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)カルボキシル基含有ポリマー、(B)重合可能な二重結合を分子内に少なくとも2個以上持つ化合物及び(C)光重合開始剤を含有し、前記(A)成分に数平均分子量5,000〜20,000、重量平均分子量20,000〜50,000、分散度1.5〜3.0の成分(A-1)及び数平均分子量20,000〜80,000、重量平均分子量70,000〜160,000、分散度1.5〜3.0の成分(A-2)を含み、かつ成分(A-1)の配合量が成分(A-2)の配合量より多く、前記(B)成分にポリプロピレングリコールジアクリレートを含む感光性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/033
, G03F 7/004 512
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, H05K 3/00
, H05K 3/06
, H05K 3/18
, H05K 3/24
